真空式滤油机工作于真空负压加热状况下，油品在真空分离罐里经平面分离器，油里的水分蒸发成热空气，气体在分离罐里上升，被真空泵抽取，达到除水脱气的原理。经脱水脱气后的油品通过油泵送入精密过滤器，达到过滤杂质的目的。当然滤芯过滤精度的不同，获得油品清洁度也不相同。
1.由于油品种类不同，其对含水量、含气量、杂质含量（油品的清洁度）要求也不相同。对于变压器油来说；要获的比新油更高的标准，又需要真空滤油机多次循环过滤。
2.对于含水量较多的油品，比如液压油、润滑油等又有乳化的现象，则也需要真空滤油机多次循环过滤。
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